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中、外电子级硫酸技术差距及其主要因素分析

时间:2021-01-16 浏览:775次
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  目前国际上从事湿电子化学品的研究开发及大规模生产的企业主要有德国的巴斯夫公司、E.Merck,美国的 Ashland 公司、Arch 公司及 Mallinckradt Baker公司,日本的关东化学公司、三菱化学、京都化工、住友化学、和光纯药工业(Wako)、stella-chemifa 公司等,我国台湾地区主要有台湾东应化股份有限公司、伊默克化学科技股份有限公司、台湾联仕电子化学材料股份有限公司、长新化学、台硝投资股份及理盛精密科技等,韩国主要有东友(DONGWOOFINECHEM)、东进(DONGJIN SEM大规模集成电路HEM)等公司。

澳门网922557,236767com澳门彩资料,161633澳门天天彩  随着集成电路的发展,当今世界集成电路水平已由微米级(1.0μm)、亚微米级(1.0~0.35μm)、深亚微米级(0.35μm 以下)进入到纳米级(32~22 nm,16~14nm,甚是 12~10nm)阶段,目前半导体集成电路的技术研发已进入 7nm 阶段。为了匹配集成电路的发展水平,世界各大超净高纯试剂企业也在技术工艺上实现了突破,国际上制备 G1 到 G4 级各种不同等级湿电子化学品的技术已经趋于走向成熟,目前已开始向更高技术等级的产品发展。

  目前我国1μm 工艺技术用的化学品已经实现规模化生产,并实现了国产化;0.35μm 技术用化学品也实现了规模生产;0.18μm 技术用化学品已经完成了研究工作。目前为止,国内技术湿电子化学品企业的部分产品已经达到了国际G3 标准,并已开展 G4 标准的研发工作。

  我国目前的湿电子化学品技术水平要落后于国际水平,国内仅有少数部分技术的企业具有技术突破的经验和能力,随着国内电子产业的快速增长,本土化配套已成为重要趋势,国内湿电子化学品企业生产技术的不断提高,未来国内将会出现具有国际竞争力的湿电子化学品生产企业。

澳门网922557,236767com澳门彩资料,161633澳门天天彩  “十五”期间,国家科技部将“ULSI用超净高纯试剂研究”课题列入“863”超大规模集成电路配套材料重大专项计划之中,由北京化学试剂研究所、上海华谊(集团)公司等单位承担,其研究的主要目的是完成0.13~0.10μm技术ULSI用超净高纯试剂的研究与开发工作,并取得较大突破,部分产品的产业化技术也将能够形成规模化生产,相关分析测试方法的研究也有较大突破,但总体上仍然受支撑条件落后、工艺技术不完善、配套设施及材料基础差等客观因素的制约,关键的工艺设备、分析测试用仪器设备和包装容器等必须依赖进口,这也导致真正要实现BV-Ⅴ级试剂的工业化规模生产存在较大的差距。


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